高深宽比小口径微通道电化学沉积研究进展

• 作者: 乐玉平 周朝花 李德志 肖忠良
• 来源期刊: 现代盐化工
• 关键词: 微通道 电化学 沉积 离子 电场
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 字数: 4850字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-880X.2018.02.008

摘要

文章针对20/14 nm节点以下三维封装高密度(104/mm2)、高深宽比(≥10)、小口径(≤5μm)垂直互连微通道的成形制造,解决复杂电场下离子的选择输运与界面快速沉积生长机制、微通道无缺陷快速填充原理、多场耦合作用下时变填充过程建模等基本科学问题,探索微通孔电化学沉积、多介质薄膜的离子增强原子沉积.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖忠良	长沙理工大学化学与生物工程学院	53	194	8.0	11.0
2	周朝花	长沙理工大学化学与生物工程学院	2	4	1.0	2.0
3	李德志	长沙理工大学化学与生物工程学院	1	1	1.0	1.0
4	乐玉平	长沙理工大学化学与生物工程学院	1	1	1.0	1.0