在磁控溅射镀膜实验中开展探究性教学的尝试

• 作者: 丘伟 张小文 张艳丽 朱保华 李震春 杨云 杨玲 袁昌来 许积文 陈国华
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 教育
• 关键词: 溅射镀膜 探究实验 科研思维 创新
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 专题
• 页码范围: 26-31
• 页数: 6页
• 分类号: G642.423|O484
• 字数: 4758字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19655/j.cnki.1005-4642.2018.05.006

摘要

结合桂林电子科技大学在探索研究性实验方面积累的教学经验与方法,以及教师在薄膜与器件方面的科研工作,尝试将射频磁控溅射镀膜用于大学生探索研究性实验教学.探究性实验从物理原理、设备构造、材料、工艺、理论与实践关联、性能测试、结果分析等方面进行类似研究生的培养过程,多角度培养学生的综合能力.实践表明:电子类地方高校将溅射镀膜实验用于大学探索性研究性实验具有可行性,且可与学校的学科特色紧密结合.