金刚石表面刻蚀技术研究进展

• 作者: 栗正新 窦志强 肖长江
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 表面刻蚀 等离子刻蚀 熔盐刻蚀 气相刻蚀 固相刻蚀
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 专题-等离子体表面处理技术
• 页码范围: 90-95
• 页数: 6页
• 分类号: TQ163
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.04.013

摘要

金刚石在量子信息器件、生物医药载体、生物传感器、高性能电极、化学分析传感器等诸多领域具有极大的应用价值,金刚石表面刻蚀技术是实现金刚石上述应用的关键所在.常见的刻蚀技术可根据刻蚀剂的物相分为熔盐刻蚀、气相刻蚀、固相刻蚀、气固相混合刻蚀、等离子刻蚀这五类.熔盐刻蚀是利用熔融离子化合物对金刚石表面进行刻蚀,其刻蚀机理主要是金刚石碳原子的氧化过程.气相刻蚀是利用氧气等气体与金刚石表面发生气固相反应,使金刚石中的碳原子变为一氧化碳等气态化合物进行刻蚀.气固相混合刻蚀主要是以镍、铂等金属作为催化剂,辅助氢气与金刚石发生反应生成甲烷,对金刚石进行刻蚀.固相刻蚀是金刚石合成的逆过程,主要用铁钴镍及其盐对金刚石进行催化石墨化,之后这些金属作为溶剂形成碳固溶体对金刚石进行刻蚀.等离子体刻蚀主要是用氧等离子体与金刚石发生反应,对金刚石进行刻蚀.文章着重介绍了这五种金刚石表面刻蚀技术近年来的研究进展,简要分析了这些技术的原理、特点与用途.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖长江	河南工业大学材料科学与工程学院	64	211	7.0	11.0
2	栗正新	河南工业大学材料科学与工程学院	73	239	7.0	10.0
3	窦志强	河南工业大学材料科学与工程学院	12	19	3.0	3.0