PZT厚膜的电雾化沉积与溶胶渗透研究

• 作者: 周鹏 慈元达 李学木 梁军生 王大志 王骁 石鹏
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: PZT 厚膜 电雾化沉积 溶胶渗透
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TM282
• 字数: 2522字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2018.09.004

摘要

制备锆钛酸铅(PZT)悬浮液,采用电雾化沉积(EHDA)技术,在硅衬底上沉积PZT厚膜,研究溶胶渗透工艺对电雾化沉积PZT厚膜的致密性与电学性能的影响.结果表明:经过2C+1S溶胶渗透工艺处理的PZT厚膜致密性与电学性能得到明显提升,在50 kHz测试频率下厚膜的残余极化强度Pr和相对介电常数εr分别由溶胶渗透前的7.3μC·cm-2和186提升为溶胶渗透后的16.1μC·cm-2和400.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王大志	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	29	41	3.0	5.0
2	王骁	海军大连舰艇学院航海系	32	88	6.0	8.0
3	周鹏	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	8	63	4.0	7.0
4	石鹏	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	1	1	1.0	1.0
5	李学木	山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室	6	5	1.0	2.0
6	慈元达	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	1	1	1.0	1.0