国内外集成电路制造业PFCs排放量计算方法的对比研究

• 作者: 李三良 杨庆宇 杨杰雄 杨永刚
• 来源期刊: 安全与环境工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: 全氟化物(PFCs) 集成电路制造业 排放量 计算方法对比
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 行业污染·废物处理与综合利用
• 页码范围: 98-102
• 页数: 5页
• 分类号: X76|X322|F426.6
• 字数: 5879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13578/j.cnki.issn.1671-1556.2018.03.016

摘要

全氟化物(PFCs)是《京都议定书》确定的6种温室气体之一,大多数PFCs具有极高的全球暖化潜势值,在集成电路制造过程中会排放大量的PFCs.通过分析目前国内外集成电路制造行业PFCs排放量的计算方法,对比了其异同点及优劣性,可为我国企业提高其计算准确度提供借鉴,也为进一步改进计算方法提出了建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨杰雄		1	0	0.0	0.0
2	杨庆宇		1	0	0.0	0.0
3	李三良		2	2	1.0	1.0
4	杨永刚		1	0	0.0	0.0