基于复振幅调制的半导体激光光束整形方法

• 作者: 严利平 张世华 徐哲毅 陈本永 陈瑞品
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 半导体激光器 激光光束整形 空间光调制器 复振幅调制
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 光束传输与控制
• 页码范围: 147-154
• 页数: 8页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.0605005

摘要

为了改善半导体激光光束质量,使其能够满足大距离高精度干涉测量的要求,使用空间光调制器对半导体激光光束进行整形,提出了一种基于复振幅调制算法的光束整形方法.利用该方法可将半导体激光光束整形为准直性好、光强分布均匀的无像散基模高斯光束.通过光束质量分析对整形后的光束进行评估,实验结果显示整形后半导体激光光束在x和y方向的M2因子均趋于1,像散接近于0,验证了该光束整形方法的有效性.将提出的半导体激光光束整形方法应用于大距离干涉测量中,在8 m处进行了微米级步进位移测量,与纳米位移工作台相比,所得结果达到了亚波长的测量精度.实验结果表明整形后的光束能够满足大距离高精度干涉测量的要求,验证了提出的半导体激光光束整形方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈本永		63	361	11.0	17.0
2	严利平		31	88	5.0	9.0
3	徐哲毅		1	0	0.0	0.0
4	张世华		1	0	0.0	0.0
5	陈瑞品		2	0	0.0	0.0