极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备

• 作者: 匡尚奇 周洪军 李硕 杨海贵 霍同林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层膜设计 极紫外 离散化设计 宽带多层膜
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2395-2406
• 页数: 12页
• 分类号: O484
• 字数: 5623字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182610.2395

摘要

极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求.本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EUV反射光谱性能.为验证离散化膜系设计在宽带EUV多层膜研制中的优越性,采用磁控溅射方法对具有离散化膜系的宽带多层膜反射镜进行了制备和测试.测试结果表明:研制的宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°～17°,高于41％的反射率;研制的堆栈宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°～18.5°,高于35％的反射率;研制的宽光谱多层膜反射镜可实现波长带宽为12.9～14.9 nm,高于21％的反射率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	霍同林	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	33	178	9.0	12.0
2	周洪军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	221	10.0	13.0
3	匡尚奇	长春理工大学理学院	11	11	2.0	3.0
4	李硕	长春理工大学理学院	2	3	1.0	1.0
5	杨海贵	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室	4	8	2.0	2.0