大口径细光束自准直测量系统的误差源分析

• 作者: 彭川黔 王劼 赵玉平
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 自准直系统 误差源分析 细光束 发散度 精度
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 光电系统
• 页码范围: 414-419
• 页数: 6页
• 分类号: TH701
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.03.024

摘要

为了满足自准直系统的高精度要求,同时扩展其适用范围,以便更好地应用于科学研究,在光学自准直原理的基础上,针对大口径细光束的自准直系统进行研究,并对其误差源做了深入分析.对入射光束发散度引入的误差、CCD离焦误差、光学元件姿态引入的误差、反射镜平面度误差、准直系统瞄准误差以及原理误差这六种主要的误差源做了定量分析,同时对外界环境条件引入的误差进行了定性分析.通过对上述误差的定量与定性分析,可以直观地观察各误差源对系统精度产生的影响,为后续大口径细光束自准直系统的设计提供了重要的理论支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王劼	中国科学院上海应用物理研究所	38	128	6.0	7.0
2	彭川黔		13	20	3.0	4.0
3	赵玉平	中国科学院上海应用物理研究所	1	5	1.0	1.0