微机械制造中对精密超精密加工技术的有效应用

• 作者: 王亮 王战胜 郑娜
• 来源期刊: 军民两用技术与产品
• 关键词: 微机械制造 精密超精密加工技术 应用
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 新材料与新工艺
• 页码范围: 152
• 页数: 1页
• 字数: 2187字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-8119.2018.02.140

摘要

本文以精密超精密加工技术的特点分析为主要切入点,为微型制造系统和在MEMS系统中的应用两方面对微机械制造加以介绍,重点探讨微机械制造中对精密超精密加工技术的有效应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亮	中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所	12	14	2.0	3.0
2	王战胜	中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所	4	7	2.0	2.0
3	郑娜		3	0	0.0	0.0