纳米结构Si表面增强拉曼散射特性研究

• 作者: 夏洋 崔绍晖 李超波 王欢 符庭钊
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 化学
• 关键词: 表面增强拉曼散射效应 反应离子注入 银纳米点 电子束蒸发 低成本
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 481-487
• 页数: 7页
• 分类号: O657.37
• 字数: 3424字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20183904.0481

摘要

为了实现低成本高灵敏度的表面增强拉曼散射效应,制备了一种基于硅表面纳米结构的表面增强拉曼散射效应(SERS)衬底.首先利用低能反应离子注入的方法对单晶硅进行表面处理,制作高陡值度的墙壁结构.然后采用电子束蒸发的方式在硅片表面蒸镀银膜,高密度的银纳米点阵列出现在侧壁表面,形成大量的热点.实验采用罗丹明6G(R6G)作为探针分子进行表征,发现获得最强拉曼信号的银膜厚度为40 nm,R6G的探测极限能达到10-14mol/L;同时分析衬底的重复性和稳定性,发现在614 cm-1和1650 cm-1处的拉曼信号特征峰的相对标准偏差分别达到12.3%和14.3%,保存一个月的衬底测得的拉曼信号强度保持不变.本研究提供了一种操作简单、成本低的制备高灵敏度增强拉曼效应衬底的方法,制备的衬底具有高信号可重复性和高稳定性的优点.