低气压高密度等离子体放电研究

• 作者: 周倩倩 黄城
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体密度 石英放电管 辉光放电
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 创新应用
• 页码范围: 52-53,56
• 页数: 3页
• 分类号: O536
• 字数: 1108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2018.09.012

摘要

设计一种石英管式封闭等离子体腔,以高频开关电源作为工作电源,分别填充高纯氩气、不同比例氩-氪混合气体等作为工作气体,结合汤森放电理论,推导出与电子密度有关的参量,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强、不同气体成分的辉光放电等离子体密度.实验结果表明,以纯氩为工作气体,工作电压350 V,管内气压140 Pa的条件下,石英放电管内辉光放电等离子体密度可达5.62×1011cm-3.对封闭式等离子体腔的气体压强、工作电压、气体成分之间的关系进行了分析,探索了一种封闭腔体内获得高密度等离子体的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周倩倩	中国科学院西安光学精密机械研究所复合材料与器件先进制造研发中心	4	3	1.0	1.0
2	黄城	中国科学院西安光学精密机械研究所复合材料与器件先进制造研发中心	2	11	2.0	2.0