端面反射和超模损耗对波导环形谐振腔输出谱线的影响

• 作者: 何玉铭 李兆峰 杨富华 费瑶
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 环形谐振腔 氮化硅光波导 耦合器
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳光学
• 页码范围: 288-293
• 页数: 6页
• 分类号: TN629.1|O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.0513001

摘要

波导环形谐振腔(WRR)是集成光通信以及光学传感器领域的关键器件之一,其谐振曲线的形貌将影响系统的性能.针对谐振腔耦合器一阶超模传输损耗差异、谐振腔外直波导端面反射,利用多光束干涉叠加原理,得到了波导环形谐振腔输出谱线的表达式.利用基于单边带调制的光学矢量网络分析方法,对制备的高横纵比的氮化硅光 WRR进行了谐振曲线谱的测试,证实了耦合器模式以及直波导端面反射对谐振曲线的影响,实际测试曲线与理论仿真结果拟合较好.