硬质合金表面SiC/DLC涂层组织和性能研究

• 作者: 周彤 李波 杜昊 胡恒宁 赵海波 陈宁
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: SiC/DLC 硬质合金 硬度 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 16-21
• 页数: 6页
• 分类号: TG154.5
• 字数: 3864字
• 语种: 中文

摘要

DLC涂层可有效降低硬质合金刀具切削过程中的摩擦系数和切削力,使用等离子增强化学气相沉积的方法在硬质合金(YG8)基体和Si(100)表面沉积SiC/DLC涂层,其中,C2H2和H2流量比分别为3∶0、2∶1、1∶1、1∶2和1∶3.测试了Si(100)表面SiC/DLC涂层的厚度、生长形貌、sp3键的含量,并对硬质合金表面SiC/DLC涂层的硬度、膜基结合力和摩擦系数进行了全面分析.结果表明,SiC/DLC涂层均为非晶态形貌,随着H2流量的增加,涂层厚度不断下降;当C2H2/H2=1∶1时,涂层的sp3键的比例最大,并达到41.0％,且具有较低的摩擦系数;涂层的硬度和弹性模量随着H2流量的增加而降低;C2H2/H2=1∶3时,涂层表现出最佳的膜基结合力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周彤	成都工具研究所有限公司	10	112	3.0	10.0
2	胡恒宁	成都工具研究所有限公司	6	46	1.0	6.0
3	赵海波		26	175	7.0	12.0
4	李波	成都工具研究所有限公司	7	89	2.0	7.0
5	陈宁	成都工具研究所有限公司	3	5	2.0	2.0
6	杜昊		3	3	1.0	1.0