高光束质量垂直腔面发射激光器同相耦合阵列

• 作者: 付林杰 杜银霄 荀孟 许坤 钟发成
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 质子注入 垂直腔面发射激光器 同相耦合
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 844-849
• 页数: 6页
• 分类号: TN364+.2
• 字数: 2776字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20183906.0844

摘要

质子注入型面发射激光器相干耦合阵列能够实现同相模式的激射,但是由于制作过程中的工艺不均匀性引起单元间存在相位差,影响光束的质量.本文通过设计分离电极结构,使每个单元注入的电流得到分别的控制,实现了3单元三角排列阵列高光束质量同相耦合模式的激射.阵列远场发散角仅为3.4°,大约有25.6％的全部能量聚集在中心光斑.激射光谱的线宽为0.24 nm,边模抑制比为27 dB.该方法能够有效提高相干耦合阵列的光束质量,弥补制作工艺中引入的单元不均匀性,提高器件的可靠性和实用性.质子注入方法简单、成本低,能够成为制作高光束质量相干耦合阵列的一个重要方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜银霄	郑州航空工业管理学院理学院	9	17	3.0	4.0
2	付林杰	郑州航空工业管理学院理学院	6	7	1.0	2.0
3	许坤	郑州航空工业管理学院理学院	9	11	2.0	3.0
4	荀孟	中国科学院微电子研究所	2	5	1.0	2.0
5	钟发成	郑州航空工业管理学院理学院	3	6	1.0	2.0