TiSiO非晶结构光学薄膜的性能调控机理研究进展

• 作者: 代书雨 张徐 张燕军 张章 李大玉
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: TiSiO 非晶结构 光学薄膜 制备工艺 溶胶-凝胶 物理气相沉积 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 表面强化及功能化
• 页码范围: 83-91
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.12.012

摘要

TiSiO复合薄膜的制备方法主要包括溶胶-凝胶、物理气相沉积和化学气相沉积等,针对不同制备工艺条件下SiO2改性TiO2的微观结构与光学参量的调控机理的研究,仍处于探索阶段.综述了近年来国内外在不同工艺条件下沉积的TiSiO薄膜的结构和光学性质,从溶胶体系和热处理工艺两方面,对溶胶-凝胶工艺制备的TiSiO薄膜展开论述,分别归纳了溶胶体系和热处理工艺调控TiSiO薄膜的结构和光学性质的一般规律;从溅射工艺和蒸发工艺两方面对物理气相沉积工艺制备的TiSiO薄膜展开论述,分别阐述了在溅射工艺和蒸发工艺过程中,调控TiSiO薄膜的结构和光学性质的一般规律;从低(常)压化学气相沉积和等离子增强化学气相沉积等方面,对化学气相沉积工艺制备的TiSiO薄膜展开论述,分别阐述了在不同化学气相沉积技术中,通过调节一些重要参数调控薄膜结构和性能的一般规律.总结了不同工艺制备并调控TiSiO薄膜的一般规律的内在联系,并指出了这类薄膜制备工艺存在的问题和后续的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张燕军	扬州大学机械工程学院	40	31	3.0	4.0
2	李大玉	扬州大学机械工程学院	18	13	2.0	3.0
3	张徐	扬州大学机械工程学院	3	2	1.0	1.0
4	代书雨	扬州大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0
5	张章	扬州大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0