一种具有低折射率的高对比度光栅反射镜的设计

• 作者: 张家斌 晏长岭 王志伟 王霞 谢检来 郝永芹 马晓辉
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 亚波长光栅 反射镜 垂直腔面发射激光器 GaSb
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 发光学应用及交叉前沿
• 页码范围: 855-861
• 页数: 7页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 5018字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20183906.0855

摘要

设计并研究了一种工作于2μm波段的GaSb基亚波长高对比度光栅反射镜,其具有低折射率光栅层结构.通过严格耦合波理论优化结构,以最大限度地满足VCSEL腔面反射镜对反射率带宽的要求.反射镜对2μm波段的TM模式具有优良的反射效率,带宽与设计波长之比达15％(反射率R>99％),在反射率R>99.9％的部分Δλ/λ0>9.5％,带宽中心波长为2.003μm,与此同时TE模的反射率不超过70.20％.该反射镜结构中几个参数的制作容差较大,且厚度低于1.1μm,有利于在垂直腔面发射半导体激光器上的单片集成.