边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度

• 作者: 王文廉 赵俊明
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 厚度测量 边缘场电容 有限元 单一平面电容
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1657-1661
• 页数: 5页
• 分类号: TP393
• 字数: 2818字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.011.007

摘要

针对金属衬底上的绝缘层厚度测量的需求,研究了一种基于边缘电场传感器测量方法.位于同一平面的传感电极形成边缘场电容,边缘电场穿透绝缘层后在衬底表面发生突变.用三电容模型分析了传感器的测量原理,衬底作为一个浮动电极分别与两个传感器电极构成平行极板电容,与边缘场电容共同构成传感电容.通过Ansoft Maxwell软件进行二维有限元仿真,讨论了电容结构参数对传感电容的影响.实验结果表明,当边缘场电容传感器应用于金属衬底上的绝缘层测量时,表现出边缘场电容与平行板电容复合的特性,而且传感器灵敏度高.当绝缘层厚度相比电极长度较小时,电极的间距对传感器电容输出影响小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文廉	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	48	242	8.0	14.0
5	赵俊明	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	1	1.0	1.0