SOI基栅控横向PIN蓝紫光探测器的工艺实现与特性研究

• 作者: 唐俊龙 彭永达 李洁颖 王振宇 肖海鹏 谢海情 贾新亮
• 来源期刊: 电子技术
• 关键词: 蓝紫光探测器 栅控横向PIN光电二极管 绝缘衬底硅 工艺实现
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 电子技术设计与应用
• 页码范围: 37-38,36
• 页数: 3页
• 字数: 1413字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0755.2018.04.011

摘要

利用SILVACO软件的两个组件ATHENA和ATLAS对SOI基栅控横向PIN蓝紫光探测器进行工艺实现和特性研究.利用ATHENA模块完成各工艺步骤以及退火工艺,最终实现整个器件.利用ATLAS模块对ATHENA得到的器件结构进行光、暗电流模拟仿真.并与软件建模仿真结果进行对比研究,验证工艺实现的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐俊龙	长沙理工大学物理与电子科学学院	35	76	5.0	7.0
2	王振宇	长沙理工大学物理与电子科学学院	7	1	1.0	1.0
3	谢海情	长沙理工大学物理与电子科学学院	30	67	5.0	7.0
4	贾新亮	长沙理工大学物理与电子科学学院	7	13	2.0	3.0
5	彭永达	长沙理工大学物理与电子科学学院	7	14	2.0	3.0
6	李洁颖	长沙理工大学物理与电子科学学院	4	2	1.0	1.0
7	肖海鹏	长沙理工大学物理与电子科学学院	3	2	1.0	1.0