MEMS惯性测量组合失效分析

• 作者: 张魁 柳华光 黄杰
• 来源期刊: 电子质量
• 关键词: MEMS 故障树 失效分析
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 可靠性分析
• 页码范围: 32-34,46
• 页数: 4页
• 分类号: V241.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2018.12.009

摘要

MEMS惯性测量组合是制导系统的关键部件,其失效将给整个系统带来严重的后果.针对某一MEMS惯性测量组合的失效现象,列出失效故障树,准确地定位了失效部位,最后分析了其失效原因.对分析过程进行了详细描述,以期对同类产品开展失效分析工作提供借鉴作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄杰		16	17	2.0	4.0
2	柳华光		4	0	0.0	0.0
3	张魁		3	0	0.0	0.0