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紫外脉冲激光辐刻单晶金刚石的研究
紫外脉冲激光辐刻单晶金刚石的研究
作者:
刘浩
孙占峰
孙雪
徐锴
李佳君
李震睿
袁禾蔚
陈广超
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
金刚石
紫外脉冲激光
脉冲频率
脉冲能量
光化学作用
等离子体诊断
光发射谱
摘要:
目的 对单晶金刚石进行紫外激光加工,分析紫外激光对金刚石的辐刻效果.方法 在真空环境中,采用波长248 nm(KrF)、脉冲能量500~700 mJ、脉冲频率1~9 Hz、激光功率0.5~6.3 W的脉冲激光对单晶金刚石靶材进行了辐照,并采用光发射谱(OES)对辐照过程中产生的等离子体进行了诊断,采用扫描电镜(SEM)和拉曼谱(Raman)对辐照后的金刚石进行了表征与分析.结果 激光辐照后的金刚石发生了凿刻现象,激光的辐刻速率受脉冲频率的影响显著,存在一个频率阈值,使辐刻速率不再随脉冲频率和能量发生明显变化.激光辐刻金刚石过程中产生的等离子体以C3激元为主,其余为C1和C2激元.结论 实验表明,激光在辐刻金刚石过程中产生等离子体,是造成激光脉冲频率和脉冲能量对辐刻速率具有阈值特性这一现象的主要原因.此外,紫外脉冲激光辐刻后的金刚石沟槽表面光洁,不存在明显裂纹.
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内容分析
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名
紫外脉冲激光辐刻单晶金刚石的研究
来源期刊
表面技术
学科
工学
关键词
金刚石
紫外脉冲激光
脉冲频率
脉冲能量
光化学作用
等离子体诊断
光发射谱
年,卷(期)
2018,(4)
所属期刊栏目
专题-等离子体表面处理技术
研究方向
页码范围
24-28
页数
5页
分类号
TG176
字数
语种
中文
DOI
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.04.004
五维指标
传播情况
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紫外脉冲激光
脉冲频率
脉冲能量
光化学作用
等离子体诊断
光发射谱
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
表面技术
主办单位:
中国兵器工业第五九研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-3660
CN:
50-1083/TG
开本:
16开
出版地:
重庆市2331信箱(重庆市九龙破区石桥铺渝州路33号)
邮发代号:
78-31
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
5547
总下载数(次)
30
总被引数(次)
34163
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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