一种单大马士革结构超厚铜集成电感

• 作者: 曾绍海 李铭 陈张发
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 工艺开发 单大马士革 铜电感 品质因子Q
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2018.04.013

摘要

成功开发超厚介质膜的淀积和刻蚀工艺、超厚金属铜的电镀和化学机械研磨等工艺,采用与CMOS完全兼容的铜互连单大马士革工艺制作了超厚金属铜集成电感.该超厚金属铜电感在1～3 GHz频率范围内的电感值均匀,在2.5 GHz频率下的Q值达到11.并且进一步研究了线圈圈数、金属线宽和金属间距对电感值和Q值的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾绍海		2	0	0.0	0.0
2	陈张发		2	0	0.0	0.0
3	李铭		2	0	0.0	0.0