空间太阳电池阵用ITO玻璃盖片工艺探索

• 作者: 杜永超 王鑫 铁剑锐 韩志刚 黄稼
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: ITO盖片 透过率 导电性
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 846-848
• 页数: 3页
• 分类号: TM914
• 字数: 2963字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2018.06.028

摘要

ITO薄膜即铟锡氧化物(Indium Tin Oxides)半导体透明导电膜,有良好的导电性,高的透过率,并且具有很高的可靠性,可应用于航天领域电磁监测卫星的太阳电池板上以控制其表面电位.针对航天器太阳电池阵用ITO薄膜的真空蒸镀法制备进行工艺优化,通过选用合适的蒸镀速率和退火条件得到具有较低电阻率、较高透过率并且与空间用三结砷化镓太阳电池相匹配的ITO盖片产品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜永超	中国电子科技集团公司第十八研究所	11	77	5.0	8.0
3	铁剑锐	中国电子科技集团公司第十八研究所	5	9	1.0	3.0
9	黄稼	中国电子科技集团公司第十八研究所	1	0	0.0	0.0
13	王鑫		2	1	1.0	1.0
14	韩志刚	中国电子科技集团公司第十八研究所	2	0	0.0	0.0