基于光场调制的纳秒激光图案化石墨烯研究

• 作者: 刘国栋 吴凌远 李阳龙 沈欢欢 王伟平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 石墨烯 激光 拉曼光谱 激光加工 图案化
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 激光与粒子束技术应用
• 页码范围: 148-151
• 页数: 4页
• 分类号: O469
• 字数: 1588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201830.180154

摘要

激光加工技术在石墨烯制备领域得到了许多应用.目前激光图案化石墨烯的方法多为激光逐点扫描,而单次辐照实现图案化加工的方法鲜有报道.通过间光调制器改变激光的光场,使光束聚焦成图案,单次辐照直接在石墨烯样品上烧蚀实现图案化.控制激光能量为合适的值时可将石墨烯清晰地图案化而不损伤硅基底.通过拉曼光谱扫描成像发现石墨烯加工边缘清晰,精度达到μm量级,具有加工速度快、无需移动样品等特点.