真空计现场校准装置的研制

• 作者: 何亚洲 张强 张银鹏 彭刚
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 现场校准装置 便携式 真空计 计量特性 不确定度
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 检定与校准
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 字数: 1394字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2018.06.16

摘要

研制了一台便携式真空计现场校准装置,采用分体式设计,结构紧凑,装置小型化,便于现场移动.集成MKS薄膜真空计和370电离真空计作为标准器,利用静态比较法和动态平衡法,极限真空度可达10-6 Pa量级,在(1×10-3～1×105)Pa的测量范围内,相对扩展不确定度Urel=(5～0.5)％(k=2),解决了真空计及真空系统现场校准的难题,综合技术指标达到国内先进水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张强		14	18	2.0	3.0
2	何亚洲		13	13	2.0	3.0
3	彭刚		9	4	1.0	1.0
4	张银鹏		7	3	1.0	1.0