MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析

• 作者: 孜乃提古丽?布尔汉 季莅莅 戚举 方玉明 艾昕晨
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 静电微执行器 动态 Pull-in参数 ANSYS 压膜阻尼效应
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1311-1315
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 3509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.09.003

摘要

本文基于穿孔板静电微执行器的基本模型,在忽略和考虑压膜阻尼效应的两种情况下,采用能量法推导了静电微执行器的动态Pull-in参数公式,并结合ANSYS软件得到动态Pull-in参数的仿真值.通过对比两种情况下的Pull-in电压和Pull-in位移,得出了阻尼比变化对动态Pull-in参数的影响.结果表明,压膜阻尼效应会增大Pull-in电压、减小Pull-in位移;当阻尼比大于0.4,动态Pull-in电压值将与静态Pull-in电压值一致;当阻尼比大于0.5,动态Pull-in位移值将与静态Pull-in位移值一致.