用于液晶显示器的低温多晶硅玻璃基板的研究现状及发展趋势

• 作者: 刘灿 曹欣 王萍萍 石丽芬 韩娜 马立云
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃基板 低温多晶硅 薄膜晶体管 液晶显示器
• 年，卷（期）: 2018,（z2）
• 所属期刊栏目: 传感、智能材料
• 页码范围: 130-133
• 页数: 4页
• 分类号: TQ17
• 字数: 3639字
• 语种: 中文

摘要

目前,电子信息产品应用广泛,液晶显示器是电子产品的必备元件.低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器(LTPS TFT-LCD)因具有解析度高、响应速度快、能耗低、画质高、性能高等优势而成为继非晶硅之后的新一代有源矩阵液晶显示器.由于LTPS高温制程要求玻璃基板具有较高的应变点和软化点,对玻璃的实际生产提出较大挑战.目前LTPS玻璃基板市场集中度很高,技术基本被国外厂商垄断.因此,开发具有自主知识产权的LTPS玻璃基板具有突破性的意义.本文详细介绍了LTPS TFT-LCD用玻璃基板的组成、性能及制备方法,指出了玻璃基板制备的工艺难点.归纳了玻璃基板的国内外研究现状,分析了玻璃基板的发展趋势及应用前景,为我国自主研发生产LTPS TFT-LCD用玻璃基板提供参考.