基于微波后向散射原理的介质调谐型薄膜温度传感器

• 作者: 谭秋林 逯斐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无线无源 微波后向散射 薄膜型温度传感器 HTCC氧化锆 介电常数 谐振频率
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 853-856
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2034字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.06.007

摘要

针对恶劣环境表面温度测试需求,设计了一种基于微波后向散射原理的无线无源薄膜温度传感器.该传感器是金属贴片型的"三明治"结构,由HTCC氧化锆陶瓷和Ag金属层制备而成.采用耐高温微带天线进行测试,通过网络分析仪读取回波损耗和频率的关系,得出其谐振频率随温度升高而减小,是由氧化锆温度敏感介质的介电常数随温度升高而增大引起的,完成了感器在50 ℃~700 ℃的高温测试,平均灵敏度为96.63 kHz/℃,具有高Q值、外形小巧、结构简单的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭秋林	中北大学仪器与电子学院电子测试技术国防科技重点实验室	71	327	10.0	15.0
2	逯斐	中北大学仪器与电子学院电子测试技术国防科技重点实验室	2	0	0.0	0.0