Al靶电流对复合离子镀TiAlCN薄膜组织结构与性能的影响

• 作者: 任鑫 王晓峰 赵瑞山
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 复合离子镀 TiAlCN薄膜 Al靶电流 组织结构 耐腐蚀性能
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 6-11
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

TiAlCN集TiAlN和TiCN优良特性,作为一种新型硬质薄膜材料具有重要应用,目前研究主要集中在单一工艺下薄膜的组织结构和力学性能,对于薄膜耐蚀性的研究鲜有报道.通过复合离子镀技术制备了一系列TiAlCN薄膜,着重研究了Al靶电流对薄膜组织结构与性能的影响规律.结果表明:不同A1靶电流下制备的TiAlCN薄膜表面光滑、平整,组织结构致密,适当增大靶电流可使薄膜表面颗粒、凹坑及针孔等缺陷数量减少,表面形貌得到改善;TiAlCN薄膜形成fcc-TiN型(Ti,Al)(C,N)相为主的多相混合结构,且随着Al靶电流的增大,薄膜发生生长取向的转变;TiAlCN薄膜的平均硬度与弹性模量随A1靶电流的升高先增大后减小,在靶电流60A时达到最大值,分别为36.8 GPa和410 GPa,显著高于SS304的4.8 GPa和150 GPa;SS304表面镀覆TiAlCN薄膜后其自腐蚀电位上升,自腐蚀电流密度减小,随着A1靶电流的增加,薄膜的耐腐蚀性能逐渐提高,靶电流为60A所得薄膜的自腐蚀电流密度和极化电阻分别为0.129 μA/cm2和430.500 kΩ·cm2,腐蚀速率最小,具有良好的耐腐蚀性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓峰	郑州职业技术学院材料工程系	33	226	6.0	14.0
2	任鑫	辽宁工程技术大学材料科学与工程学院	62	266	8.0	12.0
3	赵瑞山	国防科技大学新型陶瓷纤维及其复合材料重点实验室	2	1	1.0	1.0