基于黑硅吸收层和多层纳米组合薄膜的 红外探测器的制备及研究

• 作者: 郑俊华 郑雅伟
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电子通讯技术 红外传感器 多层组合纳米薄膜 黑硅吸收层
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 824-827
• 页数: 4页
• 分类号: TF123|TM282
• 字数: 2135字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2018.04.002

摘要

采用sol-gel(溶胶-凝胶)技术在SOI基底上制备了多层组合结构的纳米薄膜(PT/PZT/PT~PT/PZT/PT),采取金属键合技术,将薄膜作为敏感元件翻转与另一高热阻抗基底对接键合,然后腐蚀SOI上的底层硅和氧化硅,最终SOI材料上制备出具有锥状森林结构的黑硅作为吸收层得到一种新颖的敏感元件.重点开展高检测性能的薄膜结构和黑硅吸收层的加工工艺及其敏感机理研究,为实现气体传感器微型化、集成化与批量生产奠定技术基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑俊华		2	1	1.0	1.0
2	郑雅伟		6	6	2.0	2.0