基于光学原理的轴承球体表面缺陷检测方法研究

• 作者: 吕冰海 袁巨龙 钱佳立 陆惠宗 陈士豪
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 轴承球体 激光散射 剪切干涉 表面缺陷 光学检测
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 表面质量控制及检测
• 页码范围: 309-314
• 页数: 6页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.10.042

摘要

目的 实现球体表面微小缺陷的非接触式检测.方法 基于激光散射和剪切干涉的光学原理,设计了适用于微小缺陷检测的光路系统,搭建了可适用于不同直径球体检测的精密可调节检测光路系统平台,通过对标定板的检测及重复性实验,确定光路系统的检测精度.采用高精度气浮主轴搭建了精密可调节的球体运动平台,通过对直径20 mm的G5级高精度氮化硅陶瓷球的检测实验,以及通过对一半抛光一半未抛光直径20 mm轴承钢球体的检测对比实验,验证光路实验平台对于球体表面微小缺陷检测的可行性.结果 标定板上4 μm宽、63 nm高的条纹的剪切干涉信噪比为8∶1,具有相对较高的信噪比.G5级高精度氮化硅陶瓷球的检测试验以及一半抛光一半未抛光轴承钢球体检测的对比实验,验证了该光路实验平台中,激光散射可灵敏地检测较深的微米级缺陷,剪切干涉可灵敏地检测较浅的微米级缺陷.结论 基于光学原理搭建的球体表面微小缺陷检测平台,可以实现对球体表面微米级别缺陷的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁巨龙	浙江工业大学超精密加工研究中心	116	1467	19.0	35.0
2	吕冰海	浙江工业大学超精密加工研究中心	51	710	11.0	26.0
3	陆惠宗	浙江工业大学超精密加工研究中心	4	81	3.0	4.0
4	陈士豪	浙江工业大学超精密加工研究中心	2	8	1.0	2.0
5	钱佳立	浙江工业大学超精密加工研究中心	2	9	2.0	2.0