微模具电铸成型工艺研究

• 作者: 何俊峰 秦艳 郑文书 郭钟宁
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微细电铸 微模具 微结构 表面质量
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 2641-2645
• 页数: 5页
• 分类号: TG249
• 语种: 中文
• DOI: 10.16410/j.issn1000-8365.2018.12.001

摘要

针对微细电铸成型技术中微流道模具的铸层均匀性、铸层气孔和表面粗糙度等工艺问题,提出了控制成型过程中阴极电流密度、增加辅助阴极和阴极平动的方法.通过正交实验对基底蚀刻深度、光刻掩膜厚度、电铸槽温度和阴极电流密度等因素进行工艺优化研究.结果表明,得到最佳工艺参数为阴极电流密度4 A/dm2、二次辅助阴极电流密度1.5 A/dm2,阴极平动速率0.01 m/s,温度50℃、掩膜厚度50μm、刻蚀深度20 μm.获得了尺寸均匀性好、铸层气孔少,表面粗糙度为Ra 0.5μm的微模具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁		197	1090	16.0	23.0
2	何俊峰		7	9	3.0	3.0
3	郑文书		7	29	3.0	5.0
4	秦艳		1	0	0.0	0.0