一种AlN基陶瓷微热板NO2气体传感器研究

• 作者: 张福君 施云波 王暄 王欣 赵文杰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气体传感器 陶瓷微热板 二氧化氮 气敏特性
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 866-871
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 4287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.06.010

摘要

针对传统硅基微热板半导体气体传感器存在的热稳定性差,工艺复杂等难点,采用良好热导特性的AlN陶瓷为衬底,利用柔性机械剥离工艺和半导体材料In2O3/Nb2O5/Pt厚膜工艺制备了NO2微热板气体传感器.传感器中间加热区周围采用热隔离结构设计,降低了加热区温度分布梯度,提高了温度效率.利用ANSYS有限元工具进行了热结构仿真分析和响应测试分析,验证了热隔离结构设计的合理性.气敏测试分析表明,传感器在不同加热功率条件下,对5×10-6~100×10-6的NO2气体都具有良好的气敏响应特性,经对比分析,在功率150 mW~200 mW时稳定性最佳,且响应速率小于60 s,恢复时间在100 s左右,可实现5×10-6~100×10-6浓度的NO2气体良好检测功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欣		10	28	3.0	4.0
2	张福君		3	5	2.0	2.0