柔性SrTiO3/Ag/SrTiO3复合结构透明导电薄膜的制备和性能研究

• 作者: 于仕辉 孙永涛 葛磊蛟 董清臣
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 光学材料 磁控溅射沉积 透明导电薄膜 柔性
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 50-55
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.05
• 字数: 3932字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184705.0516003

摘要

为获得高性能的柔性透明导电薄膜,采用磁控溅射技术在柔性PC衬底上制备出了STO(30 nm)/Ag/STO(30 nm)复合结构透明导电薄膜.分别对不同中间Ag层厚度薄膜的结构、光学和电学性质进行了研究.研究发现:随着中间Ag层厚度的增加,可见光区的平均透过率先增大后减小,电阻率和方块电阻持续减小;当中间Ag层厚度为11 nm时,复合结构透明导电薄膜具有最佳的品质因子为14.23×10-3Ω-1,此时,其可见光区平均透过率为82%,方块电阻为9.2Ω/sq..

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董清臣	平顶山工业职业技术学院自动化与信息工程学院	5	6	1.0	2.0
2	葛磊蛟	天津大学电气自动化与信息工程学院	66	585	14.0	22.0
3	孙永涛	天津大学力学系天津市非线性动力学与控制重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	于仕辉	天津大学微电子学院	2	0	0.0	0.0