大口径薄膜衍射主镜面形误差仿真分析

• 作者: 吴鹏 尹韶云 李韬杰 杜春雷 杨正 汪岳峰
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射光学 薄膜 参考面 面形误差 波前误差
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 衍射与光栅
• 页码范围: 163-172
• 页数: 10页
• 分类号: O435
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184702.0205002

摘要

以理想坐标面为参考面,建立了大口径薄膜衍射主镜面形误差与波前误差的关系模型.首先建立了子镜面形误差模型;其次根据导出的子镜波前误差与大口径薄膜衍射主镜波前误差关系式,分别讨论了边缘褶皱面形和球面面形两种形变情况下不同区域子镜的形变允许范围;最终通过全体子镜的波前误差反向拟合Zernike多项式,得到了不同形变情况下主镜的低阶像差类型.研究结果可为成像系统的像差校正提供理论依据,对大口径薄膜衍射主镜的夹持装配有参考意义.