磨料混合对蓝宝石抛光效果的影响

• 作者: 张忠祥 彭勇 杨金 樊敏 汪海波 王菲菲 蒋先伟 鲁世斌
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 分散性 蓝宝石 化学机械抛光 粒径分布 抛光速率
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 43-48,54
• 页数: 7页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 4507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2018.06.008

摘要

磨料的粒径分布严重影响蓝宝石抛光,传统的抛光模型无法说明粒径分布的作用效果.针对这一问题,以不同粒径磨料混合放大粒径分散性影响,研究单一磨料和2种粒径混合磨料对抛光速率的影响.结果表明:2种不同粒径混合能够明显提高抛光速率,在一定质量比条件下可以达到最大值,并且粒径差距越大,抛光速率越快;不同粒径磨料混合影响抛光温度和磨料使用寿命,这是因为其一方面增加磨料整体羟基官能团数量,另一方面可以形成不同磨料间的密堆积,增加与蓝宝石接触面积.以此为基础,讨论多粒径分布的抛光动力学过程,并提出抛光动力学模型.