改进型微悬臂梁弹性常数标定系统

• 作者: 傅星 吴森 宋云鹏 耿新宇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 法向 横向 弹性常数 标定
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 969-974
• 页数: 6页
• 分类号: TH73
• 字数: 3491字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.06.026

摘要

微悬臂梁作为原子力显微镜中感受微观力的关键元件,其法向和横向弹性常数的可溯源测量是微观力准确定量的前提.受微电子加工工艺的限制,微悬臂梁形状参数与其法向弹性常数无法准确标定,其横向弹性常数更是缺少广泛认可的标定方法.在天平法的基础上对标定系统进行了改进设计,超精密电磁天平与光杠杆结构的结合,能够准确测量微悬臂梁弯曲量及所受作用力,提高了法向弹性常数的准确度.设计了微孔样片和倾斜加载方式,实现了横向弹性常数的间接测量.基于本系统分别对3种商用微悬臂梁的法向或横向弹性常数进行了标定,并采用基于扫描电镜的尺寸参数法比对测量,实验结果重复性好、相对偏差小.研究结果表明该校准系统和方法可作为微悬臂梁弹性常数标定的参考方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
2	吴森	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	13	62	4.0	7.0
3	宋云鹏	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	16	3.0	3.0
4	耿新宇	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	3	1.0	1.0