P SD法在超精密加工质量评价中的应用

• 作者: 司立坤 周平 王一奇 白倩 郭晓光 闫英
• 来源期刊: 实验室科学
• 学科: 工学
• 关键词: 功率谱密度 超精密加工 表面形貌 质量评价
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TG4506
• 字数: 2954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2018.04.004

摘要

功率谱密度法(Power Spectral Density,PSD)从物理意义上来讲就是单位频率内的信号能量,用于描述随机过程的功率与频率之间的关系.PSD法可以用于分析超精密加工表面的形貌特征,也可以分析不同频率在表面形貌中的分布,从而评价加工工艺对超精密加工表面质量的影响.利用一维PSD的方法,评价了磨削硅片、 抛光硅片、 抛光铜片表面的质量,通过结果分析可知,与表面粗糙度方法相比,PSD方法可以更全面地评价被加工工件的表面质量.因此,需要在实验室教学过程中引导学生关注功率谱密度分析方法,建立功率谱密度函数与超精密加工表面质量之间的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周平	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	38	260	9.0	15.0
2	司立坤	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	19	37	3.0	4.0
3	郭晓光	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	25	224	9.0	14.0
4	白倩	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	7	5	1.0	2.0
5	闫英	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	5	1	1.0	1.0
6	王一奇	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	2	2	1.0	1.0