脉冲激光沉积薄膜的残余应力测量

• 作者: 吴军桥 姚杰 娄帅 尤政 董恺琛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 残余应力 二氧化钒 薄膜 悬臂梁 数值计算
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 70-76
• 页数: 7页
• 分类号: TH704|TH87
• 字数: 2783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182601.0070

摘要

为了测量脉冲激光沉积法制备的小面积薄膜的残余应力,并解决Stoney公式在特定情况下误差较大的问题,本文提出了一种基于悬臂梁结构和数值计算的薄膜残余应力测量方法.该方法以初始曲率为零的原子力显微镜探针作为衬底梁,在衬底梁上使用脉冲激光沉积方法沉积被测薄膜,并记录衬底梁在薄膜沉积前后的翘曲形貌变化,再结合薄膜厚度、衬底梁几何尺寸、所涉及材料的杨氏模量与泊松比等其他参数,借助数值计算对实验数据进行分析,得出被测薄膜的残余应力.使用该方法测出:基于脉冲激光沉积法在高温环境下制备的二氧化钒薄膜的残余应力为 -340 M Pa,与文献报道的结果相符.本文提出的基于悬臂梁结构和数值计算的薄膜残余应力测量方法具有适用范围广、准确度好、实验成本低的优点.