成型工艺及收缩剂

• 来源期刊: 乙醛醋酸化工
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 54-54
• 页数: 1页
• 分类号: TQ630.1

摘要

通过将抗蚀剂组合物涂在基材上、暴露抗蚀剂膜、以及在有机溶剂显影剂中显影暴露的抗蚀剂膜而形成负图案。该过程还涉及涂料一个重复单元的共聚物包括具有α-三氟羟甲基或氟代烷基磺酰胺具有酸不稳定组和重复单元的取代氨基在C6-C12醚、多种醇、C6-C12烃收缩剂溶液的负面模式,C6-C16酯或C7-C16酮溶剂,烘烤涂料,从而缩小