基于光圈模式识别的直拉晶体生长温度测量技术研究

• 作者: 王欣 赵跃
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 图像识别 最小二乘支持向量机分类 引晶温度
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 573-578
• 页数: 6页
• 分类号: TP393
• 字数: 3769字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.04.014

摘要

针对直拉硅晶体生长引晶流程中生长界面温度无法自动测量和校准的问题,本文提出一种基于光圈图像特征与最小二乘支持向量机相结合的温度模式分类检测方法.以数字相机获取的籽晶熔接处的光圈图像作为输入数据,利用图像处理算法提取光圈特征,并以人工校准产生的分类数据和持续生长的后验数据为训练样本,对最小二乘支持向量机分类模型进行训练.实际生长测试证明,可通过多个分类器的组合使用,将生长界面温度在红外测温仪的基础上校准到满足自动引晶所需要的温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵跃	西安理工大学自动化与信息工程学院晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心	19	130	8.0	10.0
2	王欣	西安理工大学自动化与信息工程学院晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心	4	27	2.0	4.0