基于玻璃基底的TiO2自清洁减反射薄膜的研究

• 作者: 姚宁 孟家旺 王新练 王朝勇 董海鹏 路一帆 陈庚阳 马培芳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2 直流磁控溅射(DMS)技术 自清洁 减反射
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 315-320
• 页数: 6页
• 分类号: TQ134.1|O484
• 字数: 2944字
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射(DMS)技术和能量过滤磁控溅射(EFMS)技术在玻璃基底上制备了TiO2薄膜.用TFC膜系设计软件优化设计了单层和双层减反射薄膜,确定制备工艺参数,根据优化结果分别制备了TiO2构成的单层和双层薄膜.利用SEM、椭偏仪、接触角测定仪和光催化测试系统对薄膜进行了表征和测试.实验结果表明:优化设计的膜层都具有良好的减反射性能,单层和双层薄膜在400~800 nm的平均透射率分别为0.845和0.891.氙灯照射30 min后接触角从61.5°变为28°和8°,后者具有超亲水性.紫外光照下对RhB的降解速率分别为-0.0019 min-1和-0.0034 min-1,具有良好的自清洁性能.单层和双层TiO2薄膜具有自清洁和减反射性能.由高低折射率匹配组成的双层薄膜有较平滑的曲线,光催化降降解性能和亲水性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院	122	692	12.0	18.0
2	董海鹏	河南城建学院数理学院	15	15	2.0	3.0
3	王朝勇	河南城建学院数理学院	14	38	3.0	5.0
4	王新练	河南城建学院数理学院	18	35	4.0	5.0
5	马培芳		8	21	3.0	4.0
6	路一帆	哈尔滨工业大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0
7	陈庚阳	河南城建学院数理学院	1	0	0.0	0.0
8	孟家旺	河南城建学院数理学院	1	0	0.0	0.0