透明衬底光致导电网栅的设计与制作

• 作者: 冷雁冰 孙艳军 王丽 王君 王越 纪雪松
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学表面 复合网栅 光致导电 光刻 红外
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 集成光学
• 页码范围: 92-98
• 页数: 7页
• 分类号: TN713|O472+.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184709.0913002

摘要

依据半导体光电导效应分析了光致导电复合网栅调控机理,阐明了光致导电复合网栅的设计思路与结构特点.结合透明衬底蓝宝石基片,选取雷达波2～18 GHz,红外3～12 μm波段为研究对象对复合网栅结构参数进行优化和仿真,当网栅参数周期由5 mm变为2.5 mm、边长由4.9 mm变为2.4 mm时,网栅的中心谐振频率从13.2 GHz变为14 GHz.采用衍射光栅同轴对准原理保证两次lift-off光刻工艺的对准精度,制备的网栅周期误差小于6μm,边长误差小于5 μm,满足实验要求.复合网栅的光学和电学性能测试结果为:加栽复合网栅的蓝宝石衬底样件与未加栽的相比,红外透过率曲线整体走势未发生变化,透过率整体下降了7.8％左右,与单独金属网栅相比相差3.4％,符合红外透过损失规律.该复合网栅在敏感波长为600 nm光照射下测得的中心谐振频率从13.22 GHz变为14.03 GHz,与仿真结果基本一致,验证了光照对复合网栅电磁性能调控的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙艳军	长春理工大学光电工程学院光电工程国家级实验教学示范中心	36	106	6.0	9.0
2	冷雁冰	长春理工大学光电工程学院光电工程国家级实验教学示范中心	34	117	6.0	10.0
3	王丽	长春理工大学光电工程学院光电工程国家级实验教学示范中心	32	34	3.0	4.0
4	王君	长春理工大学光电工程学院光电工程国家级实验教学示范中心	9	7	1.0	2.0
5	纪雪松		8	10	2.0	2.0
6	王越	长春理工大学光电工程学院光电工程国家级实验教学示范中心	10	6	1.0	2.0