多探针扫描探针显微镜研究进展与应用

• 作者: 李鹏 裘晓辉 许可 邵永健
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 多探针 扫描探针显微镜 电学输运性质测量 微纳操作 并行成像与操作
• 年，卷（期）: 2018,（35）
• 所属期刊栏目: 评述
• 页码范围: 3713-3726
• 页数: 14页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N972018-00909

摘要

扫描探针显微镜(SPM)是微纳尺度形貌表征、物性测量及微纳操作的重要工具之一.传统的SPM只有单一探针,功能单一,多探针扫描探针显微镜(MP-SPM)的出现拓展了SPM的应用.MP-SPM的多个探针可充当精确定位的测量电极,从而提供了一种无损探测样品微纳尺度电学输运性质的方法;也可相当于多只独立活动的“手”,相互配合实现复杂的纳米操作;还可以探针成像,成像信息作为其他探针操作的先验/反馈信息,从而提高操作的效率及准确性.本文首先介绍了MP-SPM的基本仪器结构,多探针距离缩小及位置标定方法,以及使用多探针技术测量材料电阻率的原理,接着总结了近年来MP-SPM在样品微纳尺度电学输运性质测量、微纳操作、并行成像与操作以及新型力学性质测量等方面的应用,最后探讨了该技术的前沿发展以及面临的机遇与挑战.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李鹏		24	106	6.0	10.0
2	许可		28	122	6.0	11.0
3	邵永健		1	0	0.0	0.0
4	裘晓辉		1	0	0.0	0.0