小尺寸传感应用的高电感平面线圈的设计和制造

• 作者: J. Poliakine Y. Civet Y. Perriarda
• 来源期刊: 磁性元件与电源
• 学科: 工学
• 关键词: 平面线圈 电感式传感器 铝加工 等离子刻蚀 电感
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 页码范围: 145-147
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7

摘要

这项工作致力于设计和制造具有大量匝数（MOO）和高达32μH自感的小型平面线圈，适用于增强电感式传感器的性能。首先，改良后的惠勒公式用于确定最佳匝数以实现最高电感。然后，介绍一种简单在硅衬底上溅射铝的基于感应耦合等离子体（ICP）蚀刻的工艺流程，并讨论了工艺的关键方面。最后，制作出的线圈进行电学和形态表征，而与模型相比，测量结果显示与理论预测相符。