声表面波传感器在高温领域应用的研究进展

• 作者: 李功燕 杨璐羽 潘小山 王琴
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波传感器 高温 材料
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-4,7
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 4741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)06-0001-04

摘要

相比于其他类型的无线传感器,无线声表面波传感器能解决恶劣环境(如高温)下的探测问题.基于目前的声表面波传感器,阐述了声表面波技术的发展、工作模式和原理;结合当前声表面波在高温领域应用的研究状况,详细阐述了声表面波传感器在高温应用领域需要解决的问题以及适用于高温领域的声表面波传感器的材料;对声表面波传感器在高温领域中的应用和发展进行了总结和展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李功燕	中国科学院微电子研究所	18	96	5.0	9.0
2	杨璐羽	国网辽宁省电力公司电力科学研究院	9	11	2.0	2.0
3	王琴	中国科学院微电子研究所	22	217	7.0	14.0
4	潘小山	中国科学院微电子研究所	4	15	2.0	3.0