微量程段的热式气体质量流量传感器研制

• 作者: 刘莹 徐露 胡国俊 胡娜娜 钱江蓉
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微量程 气体质量流量传感器 高精度
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 117-118,130
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)07-0117-02

摘要

研制了一种微量程段的热式气体质量流量传感器.传感器芯片通过微机电系统(MEMS)工艺制备,芯片包括上下游测温电阻器和环境电阻器,其中测温电阻器有4只,对称分布在芯片中央位置,构成惠斯通电桥,芯片工作中采用恒压模式驱动.当气体流过芯片表面时,会导致检测电桥不平衡,流量信号变化转换为相应的电压信号.通过实验标定了传感器的输出曲线并对传感器的精度进行了测试,测试结果表明:研制的传感器在流量0 ～5 mL/min的量程范围内,具有响应速度快、精度高的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心	19	75	5.0	8.0
2	胡国俊	中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心	9	14	2.0	3.0
3	胡娜娜	中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心	5	4	2.0	2.0
4	徐露	中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心	1	0	0.0	0.0
5	钱江蓉	中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心	8	15	2.0	3.0