激光干涉仪在PCB数控机床精度检测中的应用研究

• 作者: 贾平平
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 定位精度 PCB钻孔机 波长 激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 控制与检测
• 页码范围: 129-131
• 页数: 3页
• 分类号: TG659
• 字数: 1718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2018.08.035

摘要

激光干涉仪已成为PCB数控机床中测量定位与重复定位精度的标准仪器.针对测量数据不稳定的问题,分析激光干涉仪测量原理,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系;对生产现场环境模块数据进行测量,环境模块变化量对波长总的补偿量为0.23μm,与实际误差相比,波长变化导致的误差几乎可以忽略,通过测量得出测量精度不稳定的主要原因是横梁X轴连接杆的变形.针对该原因进行了结构的重新设计,实现了精度补偿及测量的稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾平平	渭南师范学院数理学院	14	23	3.0	4.0