原子层沉积法制备氧化锌纳米管

• 作者: 刘慧君 廖荣 廖鸿韬 李涌春 柯嘉聪 罗志勇
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 纳米管 原子层沉积法 聚碳酸酯薄膜 生长机理
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 热点·关注
• 页码范围: 10012-10015
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2280字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.10.003

摘要

采用原子层沉积法成功制备出了大小均匀、形貌规则、晶体质量较好的ZnO纳米管,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等对样品表面形貌和物相进行分析,得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,纳米管外径2μm,壁厚150 nm.还可选用其它孔径的聚碳酸酯薄膜以及不同的原子层沉积循环数,控制管壁的厚度,以得到不同直径的ZnO纳米管.该方法工艺简单,操作简便,无任何中间产物,可实现工业化生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖荣	华南理工大学电子与信息学院	11	18	2.0	3.0
2	刘慧君	华南理工大学电子与信息学院	3	2	1.0	1.0
3	柯嘉聪	华南理工大学电子与信息学院	3	2	1.0	1.0
4	李涌春	华南理工大学电子与信息学院	2	2	1.0	1.0
5	廖鸿韬	华南理工大学电子与信息学院	2	2	1.0	1.0
6	罗志勇	华南理工大学电子与信息学院	2	2	1.0	1.0