MEMS陀螺器件与驱动电路的相位关系研究

• 作者: 来强涛 郭桂良 阎跃鹏 陈华 韩荆宇
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: MEMS传感器 MEMS陀螺 驱动电路 接口电路 相位关系 锁相环
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 电子与信息器件
• 页码范围: 100-103,108
• 页数: 5页
• 分类号: TN431.1-34|V241.5|TP211.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.16652/j.issn.1004-373x.2018.06.024

摘要

为了指导高性能MEMS陀螺的驱动电路设计,针对MEMS陀螺器件与外围驱动电路之间存在的"激励电压、静电力、质量块位移、检测电容变化、检测电流、检测电压"五次信号转换进行了详细研究,获得了确切的相位关系,建立传输函数模型.最终根据推得的总体相位关系,设计并实现了一款基于锁相技术的闭环驱动电路.测试结果表明,MEMS陀螺系统能在3 s内可靠起振且无振铃,稳定振荡频率为10.33 kHz,稳定振荡幅度为2.05 V.该测试结果验证了此相位关系研究的必要性与正确性,此研究同样适用于其他静电驱动、电容检测式MEMS传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈华	中国科学院微电子研究所	65	683	13.0	24.0
5	阎跃鹏	中国科学院微电子研究所	101	427	9.0	13.0
6	郭桂良	中国科学院微电子研究所	37	106	6.0	7.0
7	来强涛	中国科学院微电子研究所	9	27	4.0	4.0
8	韩荆宇	中国科学院微电子研究所	3	7	2.0	2.0