LiNi0.5Co0.2Mn0.3O2陶瓷靶材制备性能研究

• 作者: 刘欢 姚蕾 杨海涛 沈金城 王晨 董磊 赵江涛
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 靶材 射频磁控溅射 三元正极材料 烧结温度
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 10190-10193,10198
• 页数: 5页
• 分类号: TF125|TM283
• 字数: 4235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.10.033

摘要

采用传统的常压固相烧结的方法制备了LiNi0.5 Co0.2 Mn0.3O2陶瓷靶材.研究了不同烧结温度对于LiNi0.5 Co0.2 Mn0.3O2(NCM,523)陶瓷靶断面形貌、物相及晶型结构、相对密度和抗弯强度的影响.通过对NCM陶瓷靶材进行分析表征,研究结果表明,在烧结温度为1100℃时,靶材具有最优的各项性能,其相对密度为98.8％,抗弯强度为65.7 MPa,其各项力学性能均已经到达射频磁控溅射镀膜机所需性能,适合于工业化生产.